无油真空泵​因为体积小通常把无油真空泵叫做微型真空泵。无油真空泵具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压;排气嘴处形成微正压;工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。

在 2017 年第 18 号中国标准公告中，中国标准化管理委员会发布了《质谱仪通用规范》 ( 标准号： GB/T 33864-2017) 。该标准将于 2017 年 8 月 9 日公开，于 2018 年 2 月 1 日开始正式实施。该标准的制定是各类质谱仪系列标准制订工作的基础，对质谱仪器性能测定标准化工作具有重要的推动作用

前级泵​的作用是降低罗茨真空泵的排出压力,使罗茨真空泵的进、排气压差和压缩比被控制在一定范围内。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的前级泵抽速配置。

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通常前级泵​直接影响主泵的抽气性能，影响真空系统的抽气时间和经济效益。一般在真空系统主泵选定后，重要的就是如何选配合适的前级泵和预抽泵。

　无油真空泵​产品适用范围较为广泛，但是在购买的时候需要特别注意，产品已经不同往日，微型无油真空泵即微型隔膜泵,是指具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压;排气嘴处形成微正压;工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器，随着人们对产品的需求增加，

无油真空泵​属于干式真空泵，相比油润滑真空泵使用会排除一定的二氧化碳和废气，它具有低碳、环保。而且无油真空泵不需要使用润滑油，运行稳点，使用周期长，没有油污等产生，符合现代企业节能的环保理念。

前级泵​用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。主要是帮助主泵罗茨真空泵启动，罗茨真空泵一般情况下不能在常压下启动，如果要启动电机功率相当大，而且对泵的运行有伤害。而且通过配用不同的前级泵可以运用到不同的环境。