涡旋真空泵凭借低噪音、高真空度、运行平稳等优势，广泛应用于半导体制造、实验室研发、食品包装等领域。但在长期连续运行或操作维护不当的情况下，设备易出现异响和抽速下降两大高频故障，不仅影响真空系统稳定性，还可能缩短泵体使用寿命。本文针对这两类故障，深度拆解成因并给出可落地的解决对策。

一、 故障一：运行异响 —— 异常振动与噪音的根源排查

涡旋真空泵正常运行时噪音值较低，若出现尖锐摩擦声、金属撞击声、不规则嗡鸣声，需立即停机检查，避免故障扩大。

1. 常见故障原因

涡旋盘啮合间隙异常

涡旋盘是真空泵的核心部件，长期运行会导致涡旋齿磨损，或因安装偏差、轴承损坏，造成动、静涡旋盘啮合间隙过小或不均匀，运转时发生摩擦、碰撞，产生异响。

轴承磨损或润滑不足

轴承负责支撑涡旋盘的旋转运动，若轴承滚珠磨损、滚道出现划痕，或润滑脂耗尽、油脂变质，会导致轴承转动阻力增大，产生 “沙沙” 的摩擦异响，严重时伴随泵体振动。

异物进入泵腔

进气口未安装过滤器或过滤器破损，会导致粉尘、颗粒、金属碎屑等异物进入泵腔，与高速旋转的涡旋盘碰撞，产生间断性的撞击声。

电机故障或联轴器失衡

电机轴承损坏、转子偏心，或电机与泵体的联轴器安装不平整、弹性垫老化失效，会引发设备共振，产生低频嗡鸣声。

2. 对应解决对策

校准涡旋盘啮合间隙

停机后断开电源，拆卸泵体端盖，检查动、静涡旋盘的啮合状态。若存在轻微磨损，可通过调整轴承座位置，将啮合间隙恢复至设备说明书规定的范围（通常为 0.05-0.15mm）；若涡旋齿严重磨损、出现崩裂，需整体更换涡旋盘组件。

更换轴承与润滑脂

拆解轴承部件，若发现轴承磨损、间隙过大，直接更换同型号的高精度轴承；清洗轴承座与腔体后，加注适配型号的真空泵专用润滑脂，加注量以填充轴承腔体的 2/3 为宜，避免过量导致高温积碳。

清理泵腔并加装防护装置

拆卸涡旋盘，用无尘布蘸取专用清洗剂清理泵腔内的异物；检查进气口过滤器，若破损则更换新滤芯，确保过滤精度符合设备要求，防止异物再次进入。

检修电机与联轴器

检测电机绝缘性能与转子动平衡，若电机故障需送修或更换；拆卸联轴器，更换老化的弹性垫，重新校准电机与泵体的同轴度，确保安装误差≤0.02mm，消除共振异响。

二、 故障二：抽速下降 —— 真空度不达标的解决方法

抽速下降表现为真空泵达到设定真空度的时间延长，或极限真空度无法达标，核心原因集中在密封失效、管路泄漏、部件堵塞三个方面。

1. 常见故障原因

密封件老化或损坏

泵体的轴封、端盖密封垫等部件长期受高温、真空环境影响，会出现硬化、开裂、变形，导致空气从密封处泄漏，降低抽气效率。

进气 / 排气管路堵塞或泄漏

进气管道因粉尘堆积、油污粘附出现堵塞，会阻碍气流进入；排气管道破损、接头松动，或止回阀卡滞，会导致排出的气体回流，均会造成抽速下降。

涡旋盘积碳或结垢

若抽取的气体中含有可凝性蒸汽（如有机溶剂、水汽），未及时安装气镇阀或气镇阀失效，蒸汽会在泵腔内冷凝，与润滑油混合形成积碳、结垢，附着在涡旋齿表面，影响啮合密封性，降低抽气能力。

电机转速异常

电机供电电压不稳、皮带传动装置松动（皮带式真空泵），会导致电机转速低于额定值，泵体抽速随之下降。

2. 对应解决对策

更换老化密封件

拆卸泵体密封部位，检查轴封、密封垫的状态，更换所有老化、破损的密封件；安装时在密封件表面均匀涂抹一层真空密封脂，提升密封效果，确保无泄漏。

清理管路并排查泄漏点

拆卸进气、排气管道，用高压气枪吹扫管路内的积尘、油污；检查管路接头与焊缝，可采用皂泡法（涂抹肥皂水）检测泄漏点，标记后进行焊接修复或更换管路；拆卸止回阀，清理阀芯卡滞的杂质，确保阀门启闭灵活。

清洁涡旋盘并启用气镇阀

拆解涡旋盘组件，用专用清洗剂浸泡、刷洗涡旋齿表面的积碳与结垢，晾干后重新装配；若抽取可凝性蒸汽，需开启气镇阀，调节气镇流量，将泵腔内的冷凝蒸汽排出，避免再次积碳。

恢复电机额定转速

检测供电电压，确保电压波动范围在 ±5% 以内；对于皮带传动型真空泵，调整皮带张力，避免皮带打滑；若电机转速仍不达标，需检修电机调速器或更换电机。

三、 日常维护：降低故障发生率的关键措施

定期更换耗材：根据设备运行时长，每 1000-1500 小时更换一次润滑油与过滤器，每 2000 小时检查并更换密封件。

规范操作流程：真空泵启动前需关闭进气阀，待泵体达到基础真空后再缓慢开启；避免抽取腐蚀性、含颗粒的气体，必要时加装前置净化装置。

做好运行记录：定期记录泵体的运行电流、真空度、噪音值，通过数据变化及时发现潜在故障。

掌握以上排查与解决方法，可快速处理涡旋真空泵的两大核心故障。日常做好预防性维护，更能有效延长设备使用寿命，保障真空系统的稳定运行。