无油真空泵凭借 “无油污染、高洁净度” 优势，广泛应用于半导体、医药、食品等对真空环境要求严苛的行业。但其长期运行中，密封件老化、过滤器堵塞、轴承磨损会直接导致真空度下降、能耗升高甚至设备停机。本手册聚焦日常维护核心环节，明确密封件更换周期判定方法、过滤器清洁操作规范及轴承保养关键技巧，提供可落地的维护流程与标准，助力运维人员高效保障设备稳定运行。

一、密封件维护：更换周期与操作要点

无油真空泵密封件（如轴封、腔体密封圈，多为丁腈橡胶、氟橡胶材质）的核心作用是防止空气泄漏，其老化或损坏会直接影响真空度。需通过 “周期预判 + 状态检测” 确定更换时机，规范操作避免二次损伤。

1. 更换周期判定

基础周期参考：

丁腈橡胶密封件（适用于常温、非腐蚀性工况）：常规工况下每 6-8 个月更换一次；若用于含轻微腐蚀性气体（如医药行业有机溶剂挥发气），缩短至 4-5 个月。

氟橡胶密封件（耐温、耐腐）：适用于高温（≤150℃）或腐蚀性工况，更换周期可延长至 10-12 个月。

状态检测辅助判定：

视觉检查：若密封件出现裂纹、变形、表面硬化（用手指按压无弹性），或密封面有明显划痕、磨损，需立即更换。

性能检测：当真空泵真空度较新机下降 10% 以上，且排除管路泄漏、过滤器堵塞等问题后，优先检查密封件密封性（可涂抹肥皂水在密封处，若产生气泡则判定泄漏）。

2. 更换操作关键步骤

预处理：停机后释放泵内真空，关闭进气阀门，断开电源；拆卸前用无尘布擦拭密封件周边，避免灰尘进入泵腔。

拆卸技巧：使用专用橡胶撬棒（避免金属工具划伤泵腔），沿密封件边缘缓慢撬动；若密封件粘连（长期高温工况易出现），可涂抹少量酒精软化后再拆卸。

安装规范：

新密封件需在密封面均匀涂抹一层真空硅脂（薄薄一层即可，过多易污染泵腔），确保密封面贴合。

安装时对准定位槽，均匀按压到位，避免偏移（偏移会导致局部密封不严）；拧紧固定螺栓时采用 “对角分次拧紧” 方式（扭矩按设备说明书要求，通常为 3-5 N・m）。

** post-installation 检测 **：安装后启动真空泵，运行 30 分钟，用真空计监测真空度是否恢复至标准值，同时检查密封处有无泄漏。

3. 维护注意事项

备用密封件需存放在阴凉干燥处（温度≤25℃，相对湿度≤60%），避免阳光直射或与油脂、溶剂接触，防止提前老化。

不同型号真空泵密封件不可混用（如涡旋式与爪式真空泵的轴封尺寸、结构差异大），更换前需核对密封件型号（通常标注在密封件侧面或设备说明书中）。

二、过滤器清洁：周期、方法与堵塞判定

无油真空泵过滤器（进气过滤器、排气过滤器）用于拦截进气中的粉尘、杂质及排气中的油雾（部分无油泵含少量润滑脂），堵塞会导致进气阻力增大、真空度下降、电机负载升高。需按工况差异制定清洁周期，掌握正确清洁方法。

1. 清洁周期设定

进气过滤器：

普通粉尘工况（如食品包装行业，粉尘浓度≤5mg/m³）：每 2-3 个月清洁一次。

高粉尘工况（如粉体输送配套，粉尘浓度≥10mg/m³）：缩短至 1 个月 / 次，或采用压差监测（当过滤器前后压差≥0.02MPa 时，立即清洁）。

排气过滤器：

常规工况：每 4-6 个月清洁一次；若排气口出现明显油雾（部分无油涡旋泵含少量润滑脂）或排气阻力增大（用手靠近排气口感觉气流减弱），需提前清洁。

2. 清洁操作方法

（1）进气过滤器清洁（以可清洗式金属滤网为例）

拆卸：关闭进气阀，拧下过滤器外壳，取出滤网（注意标记安装方向，避免装反）。

清洁：

轻度堵塞（滤网表面粉尘较少）：用压缩空气（压力 0.4-0.6MPa）从滤网内侧向外吹扫（避免粉尘吹入泵腔），持续 1-2 分钟。

重度堵塞（滤网表面粉尘结块）：先用清水冲洗（若含油污，可加入少量中性洗洁精），浸泡 10 分钟后用软毛刷轻刷滤网表面，再用清水冲洗干净，最后放入烘箱（温度≤80℃）烘干（避免高温导致滤网变形）。

检查与安装：清洁后检查滤网有无破损（若有小孔需更换新滤网），按原方向装回过滤器外壳，拧紧密封螺栓。

（2）排气过滤器清洁（多为纸质或聚酯纤维材质）

纸质过滤器：不可清洗，堵塞后直接更换（更换周期参考上述清洁周期，或按设备说明书要求）。

聚酯纤维过滤器：可重复清洁，方法同进气过滤器金属滤网，但吹扫时需控制压缩空气压力（≤0.3MPa），避免滤网纤维损坏。

3. 堵塞故障快速判定

直观判定：观察过滤器表面，若进气过滤器滤网呈灰黑色（粉尘堆积）、排气过滤器出现明显油斑或鼓起（内部杂质堵塞），可判定为堵塞。

性能判定：启动真空泵后，若进气压力（通过压力表监测）较正常工况升高 0.015MPa 以上，或真空泵达到额定真空度的时间延长 50% 以上，大概率是过滤器堵塞导致。